Měření vakua je důležitou součástí vakuové techniky. Přístroj používaný k měření stupně vakua se nazývá vakuoměr.
Mezi běžně používané vakuometry pro vakuové pece a vakuové tavicí pece patří termočlánkové vakuometry, ionizační vakuometry atd. Jejich pracovní princip je následující:
(1) Vakuoměr termočlánku
Termočlánkový vakuoměr se skládá z citlivých součástí, termočlánkových měřidel a měřicích přístrojů. Termočlánková měřicí trubice je připojena k testovanému vakuovému systému s vnějším pláštěm skleněné trubice a topnými dráty a termočlánkovými dráty uvnitř trubice. V důsledku teplotního rozdílu mezi studenými a horkými konci vodiče termočlánku se v obvodu generuje termoelektrický potenciál. Pokud napětí topného drátu zůstává konstantní, je potenciál termočlánkového drátu omezen teplotou topného drátu a teplota topného drátu je vztažena k tlaku měřeného plynu. Nízký tlak, nízká tepelná vodivost plynu, méně tepla odváděného plynem, vyšší teplota topného drátu a zvýšený termoelektrický potenciál drátu termočlánku; Termoelektrický potenciál naopak klesá. Termoelektrický potenciál v obvodu se měří pomocí milivoltmetru a milivolty v měřidle odrážejí úroveň vakua. Pro zajištění napěťové stability topného drátu bylo připojeno stabilní napájení. Měřící přístroj se tedy skládá z milivoltmetru pro měření termoelektrického potenciálu a regulovaného topného drátu stabilizovaného napájení.
(2) Ionizační vakuometr
Tento typ vakuometru se používá hlavně k měření vysokých úrovní vakua. V nízkotlakých a silných plynech je počet kladných iontů generovaných ionizací molekul plynu přímo úměrný tlaku plynu. Podle různých metod ionizace se vakuoměr, který používá horkou katodu k emitování elektronů k ionizaci plynu, nazývá ionizační vakuoměr s horkou katodou; Mezi nimi ionizační vakuoměr s horkou katodou se skládá z teploměru s horkou katodou a měřicích přístrojů. Měřicí přístroj se skládá z regulovaného pracovního zdroje, stabilizátoru emisního proudu, zesilovače pro měření iontového proudu a dalších součástí. Ionizační měřidlo s horkou katodou je připojeno k testovanému vakuovému systému. Ionizační měřidlo s horkou katodou je tranzistor s katodou, hradlem a kolektorem uvnitř. Shromážděte polární potenciál vzhledem ke katodovému elektronegativnímu potenciálu; Brána má kladný potenciál vzhledem ke katodě. Když je ionizační měřidlo elektrifikováno a zahříváno, katoda emituje elektrony, které se během procesu dosažení brány srazí s molekulami plynu, což má za následek ionizaci kladných iontů a elektronů. Při konstantním emisním proudu je počet kladných iontů za den přímo úměrný tlaku měřeného plynu. Poté, co jsou kladné ionty zachyceny sběrnou elektrodou a zesíleny měřicím obvodem, může být měřený stupeň vakua (skříňová pec) odečten indikačním elektroměrem.
(3) Kompozitní vakuoměr
Obvykle nelze pro měření nízkého a vysokého vakua použít jediný vakuoměr, ale měl by být použit kompozitní vakuoměr, přičemž častěji se používají ionizační a termočlánkové kompozitní vakuoměry. Jeho rozsah měření je 13.33-666,6 × 10-8Pa. Měření nízkého vakua při (10-10-10-3) x 133,32 Pa pomocí termočlánkového vakuometru; Ionizační vakuometr měří vysoké vakuum 133,32 × 10-3-666,6 × 10-8Pa. Kompozitní vakuoměr je vybaven termočlánkovým měřidlem a ionizačním měřidlem, které jsou jednotlivě připojeny k vakuovému systému. Dva měřidla lze vyhřívat samostatně pomocí knoflíku a lze je zvolit pro použití.